第526章 咱们工人有力量 1 / 2
工件台次加热硅片,给工件做次坚膜,加固已经保留光刻胶,进步清除需部分胶及其分残留物。
坚膜完,硅片被再次头始,始二次光刻流程,块标准掩模。
显影完,二次光刻光刻胶被固化,余部分被清除,硅片被送显微镜。
刚刚硅片表清晰显微图像跳,马娟语带欣喜啊声。
“师兄,,,度高啊!”
马娟边瞄显微镜,边嘴喊。
套刻度高点,高振东预计,决定套刻度主工件台,三轧厂帮老师傅神威,将工件台定位度搞
东北光光系统图形畸变1μm,两者结合,套刻度绝差。
估计归估计,真正结果,谁敢彻底放。
听见马娟话,高振东哈哈笑:“,。”
马娟显微镜让,高振东眼睛凑显微镜目镜外,显微镜甚至眼睫毛,明显闲观察睫毛否,急往视场。
显微镜,两次光刻痕迹非常明显,条叠另条,重合度非常高。
两次光刻痕迹,两边各露部分,部分单边宽度,基本套刻误差,粗粗,目测连整线宽半。
“!太!马娟,选取典型点位,覆盖整硅片,马做比较全测量比较。”
另外试验员走,马娟,边找点,边测量,边记录。
间相论体淋漓尽致,马娟觉间很快,等结果高振东等觉间太慢。
快慢段间,试验员计算机坐,始将数据输入计算机,简单统计分析,直接源代码敲数据。
处理算法C代码早写,往数组填数据已。
办法,处理算法随根据需修改。
键盘声啪啪响,场员反安定,刚才测量报数,结果差。
随数据输入完毕,马娟启编译-运指令。
算法简单,带任何调试麻烦,很快,屏幕跳数字。
编临程序懂,怎简单怎,数字甚至带任何单位
其实数点位够,写单位,r/>
虽早料,数字跳候,高振东哈哈笑。
“哈哈哈……!太!”
套刻度,已经超需,PMOS套刻次数少,其实严格,10μm分辨率,5μm套刻度够。
,高振东直接宣布,代PMOS工艺集电路,线宽
线宽听咋,举例知它处,DJS-59原型,片金色C8008,它工艺10μm-PMOS!片芯片,晶体管数量
首4Kbit(512Byte)DRAM,工艺8μm-NMOS,虽NMOS,并味NMOS才NMOS区别关方向相反,且NMOS关速度比PMOS快2.5倍左右。
61,PMOS慢点。
惜两片芯片候,高振东法锁定兑换力,关系,句话,业初期,主打简单凑合,设计核难度晶体管电路,其实基本C8008内模,高振东做,结构原光刻掩模。
力气活儿,高振东搞,太浪费间,,落京城工届部分四头。
原本高振东考虑光刻机敢太乐观,初期预计50μm左右,三轧厂老师傅东北光此给力,才SZ61XXX系列芯片头三片改
扎扎实实10μm望,乐死,算先教半,再画两图,字儿――值!
且基础,搞,,比化――单片机。