第525章 分辨率10m 1 / 2
525章 分辨率10μm
瓷飞厂定决，肖远赴京城，高振东边，远远完。
此，正拿防工委另位五爷――轰炸机资料，细细计算、考虑。
撬攻-5装雷达。
算入神候，门被敲响。
高振东身门，门口易海五口分师妹马娟，马娟性格虽比较直，男英气，却很细，正合适代表分厂电实验室跟进光刻机组装宜。
“高师兄，消息消息！”马娟像伍升远板眼，单位叫高师兄，高振东听挺爽。
“光刻机组装？”易海，除别。
“嗯嗯嗯，装，先试试，各指标完全达标。”
“太，走，。”高振东东西收，站身往光刻机试制车间走。
易海马娟跟，马娟笑：“思，请主持终套刻度试验。”
高振东连连点头：“嗯，试，试。走！走！”
其指标，易海带师傅，马娟配合基本完，套刻度，算终综合检验。
走进光刻机试制车间，透玻璃向超净室，展高振东像化试验室通风试验橱东西，或者像搞物带物防护显微装置，别啥，台显微镜贼显眼。
台显微镜工准检查，主解决套刻准问题。高振东掩模设计准标志，准，台光刻机工，台显微镜。
按机器高振东，改改见少次，算老伙计，次见，泛阵激。
算结果，东西高振东已经台设备，股气。
高振东世，网线，喷东西，逮啥喷啥，慢慢演变喷啥才啥。
脆钉，少数几领域蹲走，任东南西北风，巍，嘴“呀呀！……光刻机几光源，知？”高振东愈耐烦，拿键盘走远。
走远归走远，几东西确穿越止，完全拿，至少高端拿，光刻机其。
妈，辈老造玩玩，几光源知，知台，且挺！
高振东换防护服，几名试验员走进超净室。
试验员早试验准备做，走进，打几关，示高振东：“高，。”
高振东拿专夹具，带燥剂硅片架，夹片单晶硅片，放工件台，扳关，硅片被吸附固定。
单晶硅片已经经清洗、燥等处理，光刻胶附力此。
高振东退步，将接试验给马娟。
始爽感，至具体，试验员比脚麻利，专业给专业做。
高振东光刻机原始，真原始，固定硅片，马娟关，硅片始旋转。
高振东设计，步位，光刻胶涂布，直接旋涂法，世早光刻机什方法涂布知，知综合性肯定旋涂法。
旋涂法单晶硅片平坦简单表涂布，平坦化力强，容易控制厚度，涂层密度，厚度均匀，缺陷，接受处理。
旋转很快达预设转速，涂料确定况，涂层厚度涂布结果参数与转速高度相关，旋转，工件台硅片进加热，进步除表重新附水汽。
细节，高振东世带，眼，很重。