第150章 第二代光刻机下线 1 / 2
王铭陈蕊匆匆赶光电间已经点晚，长玩笑，“今呢！”
王铭嘿嘿笑，答，“昨点，今晚点，实抱歉。”
长摆摆，“跟玩笑呢，走，带新伙。”
长带研究尘车间，众换尘服，进入，长指三台型机器，“三台定制二代光刻机，采提供双工件加工技术，芯片产效率比老款提高40%左右。”
“台光刻机产微米各制程芯片，良品率工效率幅提升。特别0.35微米芯片产，代产品良品率45%左右，代提高72%左右；代产品次性装载30块原晶，改进提高50块。”
“代产品怎提升？”
“提供技术方向给很启，块接触式光刻机方本比较深入研究，接近式光刻机方81已经品，带技术加持，绩并奇怪。”
长奇问，“次次性订购三台，卖芯片吗？”
“担，几条产品线、几新产品蓄势待，差边光刻机！”王铭停留技术图纸产品，忍住追问，“三代扫描投影式光刻机研进展怎？”
“三代扫描投影式光刻机边技术储备，85候已经功研制，合适产品应，直被束高阁。”长由点惋惜，“边批量化产经验积累提供技术方案，三代光刻机方进展非常顺利。”
“长间够？估计二代光刻机两被淘汰。”解释，“M边三代 光刻机应该已经进入熟阶段，因本问题，直推广。条江猛龙，必迟1998批量产三代光刻机。”
“放，三代光刻机方，肯定拖腿，迟今底，试制完。”长指旁安装半机器，“三代机器，目进度已经半，加技术积累，底完问题。”
“三代光刻机创新性使光投影式进光刻，扫描方式实曝光，光源改进248nmKrF激光，工艺推进至180-130nm，握将低130nm制程良品率至少提高60%！”