第122章微观世界 1 / 2

众纷纷摇头，且屑顾。

，既被幕称工业皇冠明珠。

电光刻技术真像简单吗?

，接，将此未接触，微观世界!

【至今，光刻古老词汇，已经被赋予完全含义。】

【，提光刻，数反应光，刻，机。】

【，光，刻，机什呢?】

【它什被称类工业皇冠明珠呢?】

幕，伴随视频进，光，刻，机照片被放。

虽名机器，光，刻，机体量极其庞，它体积约100立方米，几乎与台公汽车差。

【类目知密仪器，EUV光，刻，机。】

【台EUV光，刻，机重达200吨，价值1.2亿。】

【因其结构密，光运输环节需三架波音737飞机40集装箱，仅安装调试需间。】

【问制造台光，刻，机难比造原弹难吗?】

【答案。】

【科技达今，制造原弹很，制造EUV光，刻，机。】

【台EUV光，刻，机由10万零件组，参与光，刻，机零部件产厂超5000，供应商分布30，几乎集结全球顶级技术才，代表类科技巅峰。】

【知制造颗芯片难吧万零件，5000公司参与，30供应，集结全球几乎顶尖技术才。

见幕介绍，原本轻视古，已经完全笑。

随即，新问题萦绕间，此复杂且密机器，究竟做什?

很快，幕给答案光，刻，机产13.5纳米波长光，比DUV光，刻，机短14倍，因此，它做更晶体管。】

【先简单解EUV光，刻，机工原理。】

【首先它需极紫外光界并存，需工制造光源，EUV光，刻，机难步骤。】

【简单需20千瓦激光三层楼高度，照射真空环境液态锡珠，锡珠直径头丝三分，并直处由落状态。】

【激光脉冲需每秒5万次频率轰击锡珠，让它瞬间气化蒸等离体。】

【等离体极紫外光进入聚光镜被采集。】

【光系统通反射镜反射式光元件，将13.5纳米极紫外光束聚焦掩膜。】

【掩膜芯片通光系统投影功，被投射涂光刻胶硅片。】

【光刻胶受极紫外光照射溶胶，显影程溶解溶解区域，硅片形确图案。】

【程，光源每反射次折损30%，约2%极紫外光达硅晶圆。】

【其难部分，除轰击锡珠极紫外光，需具备高度光设备。】

麻。

已经完全麻!

唐位，虽听懂玄玄专业术语，听懂什叫做光刻胶，懂什叫做硅晶圆。

光光步轰击锡珠，让李二震惊头皮麻!

“三层楼高度，每秒5万次频率进轰击?”

“且目标居头丝三分?”

“怎做!”